• 已选条件：
  • × 2nd International Telecommunication Conference "Advanced Micro- and Nanoelectronic Systems and Technologies
  • × Abrasive materials
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1 Precision Machining of Silicon Substrates [会议论文]

作者:Makarov, V.F.^1;Muratov, K.R.^1;Ablyaz, T.R.^1;等

关键词:Abrasive finishing;Abrasive materials;...

会议举办机构:Perm National Research Polytechnic University, 29 Komsomolsky prospekt, Perm, Perm krai

会议时间:2019

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